pompe avec assistance à vide

La pompe à amorçage à sec assistée par vide (également appelée pompe mécanique sèche) est une pompe capable de pomper à pression atmosphérique et de refouler directement dans la chambre de pompage, sans huile ni autre fluide. La pression et la pompe à vide à joint d'huile sont équivalentes ou proches de celles d'une pompe à vide mécanique. Les applications de la pompe à vide sèche sont nombreuses, principalement dans les domaines suivants : 1) la préparation du polysilicium par dépôt chimique en phase vapeur à basse pression ; 2) la gravure des semi-conducteurs. Ces procédés de production utilisent ou génèrent souvent des gaz corrosifs et des particules abrasives ; 3) outre certains procédés produisant des particules autres que les semi-conducteurs, il est peu probable que des particules se mélangent à l'huile de la pompe, et il est préférable que des particules soient évacuées de la pompe. Un type de pompe à vide mécanique sèche peut alors répondre à ces exigences ; 4) dans l'industrie chimique, pharmaceutique et agroalimentaire, pour la distillation, le séchage, le démoussage, le conditionnement, etc., afin de prévenir la pollution par les solvants organiques, une pompe à vide sèche est adaptée. 5) Utilisé comme pompe avant du système général de vide propre sans huile pour éviter la pollution par l'huile.